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回购光刻机是什么意思 asml向中国出售光刻机

发布时间:2023-09-07 14:23:32编辑:温柔的背包来源:

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一、回购光刻机是什么意思

一、回购光刻机是什么意思

光刻机回购指中国芯片公司要求ASML回购700台光刻机。

光刻机又称掩模对准曝光机和曝光系统,是制造芯片的核心设备。掩膜版光刻机采用了一种类似于照片印刷的技术,可以通过曝光将掩膜版上的精细图案印刷到硅片上。ASML是世界领先的半导体设备制造商,其先进的掩模对准器技术被广泛应用于芯片制造过程。2018年,美国要求ASML停止向中国出售光刻机,因此中国芯片公司开始要求ASML承担损失。

由于美国对ASML有技术控制和影响力,这一限制迫使ASML停止向中国销售光刻机,无法为中国市场提供足够的服务保障。因此,国内企业将根据签订的合同要求ASML回购中国购买的所有光刻机。光刻机的类型如下1、接触式曝光机。

接触式曝光机是指掩模板与光刻胶层直接接触,曝光的图形与掩模板上的图形具有相同分辨率的设备。根据施力方式的不同,接触暴露可分为软接触、硬接触和真空接触。2、接近式曝光机

接近式曝光机是指掩模板与光刻胶基层之间存在微小的间隙,约为0 ~ 200 m,接近式曝光机可以有效避免掩模板与光刻胶直接接触造成的损伤,使掩模和光刻胶基板经久耐用。接近式曝光机是现代光刻工艺中应用最广泛的设备。3、投影曝光机

投影曝光机是指利用光学系统在掩模和光刻胶之间聚集光线实现曝光。一般来说,掩模的尺寸是要转移的图案的四倍。投影曝光机的优点是提高了分辨率,掩模板更容易制作,减少了缺陷对掩模板的影响。参考以上内容:百度百科-面膜对准器

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