求涡轮分子泵的结构和工作原理？ 分子泵原理

网上有很多关于求涡轮分子泵的结构和工作原理？的问题，也有很多人解答有关分子泵原理的知识，今天每日小编为大家整理了关于这方面的知识，让我们一起来看下吧!

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一、求涡轮分子泵的结构和工作原理？

二、涡轮分子泵的工作原理是什么？

三、请问大家什么是牵引泵？它的工作原理和优点是什么？

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一、求涡轮分子泵的结构和工作原理？

涡轮分子泵是一种机械增压泵。通过动翼引入分子流，通过静翼阻止气体分子回流，使气体分子逐层压缩，达到抽气的效果。

分子泵需要前级泵将压力抽到几十Pa才可以开始工作。如果直接暴露在大气压力下，会导致泵内压力过高而损坏泵。

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二、涡轮分子泵的工作原理是什么？

涡轮分子泵的结构及工作原理：

1958年，德意志联邦共和国的W.贝克首先提出了具有实用价值的涡轮分子泵。此后，各种结构的分子泵相继出现，主要有立式和卧式。图1是钢立式涡轮分子泵的示意图。涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子（即动叶轮）、静叶轮和驱动系统组成。动叶轮外缘的线速度与气体分子的热运动速度一样高（一般为150400m/s）。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替布置。动叶轮和静叶轮的几何尺寸基本相同，但叶片的倾斜角度相反。 2是由20个动叶轮组成的改进型整体转子。每两个动叶轮之间安装一个静叶轮。静叶轮外缘用圆环固定，使动、静叶轮之间保持1mm左右的间隙，动叶轮可在静叶轮之间自由转动。

图参考论文：涡轮分子泵动叶片和静叶片图

图1：立式涡轮分子泵的框图

图3：分子泵工作叶片示意图

图3是分子泵动叶的工作示意图。移动叶片两侧的气体分子呈弥散散射。在叶轮左侧（图3a），当气层到达A点附近时，1角度内反射的气体分子返回左侧； 1角度内反射的气体分子一部分返回左侧，另一部分穿过叶片向右；在1角度内反射的气体分子将直接穿过叶片向右。同理，当气体分子入射到叶轮右侧B点附近时，以2角度反射的气体分子将返回到右侧；以2角度反射的气体分子，一部分到达左侧，另一部分返回右侧；以角反射的气体分子将穿过叶片向左侧移动。倾斜叶片的运动使得气体分子从左向右穿过叶片的可能性比从右向左穿过叶片的可能性大得多。当叶轮不断旋转时，气体分子就会不断地从左向右流动，从而产生抽气以达到照明的目的。

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三、请问大家什么是牵引泵？它的工作原理和优点是什么？

分子牵引泵概述分子真空泵最早由德国人W盖德于1911年发明，并解释了分子泵的抽气理论，使机械真空泵的抽气机理取得了新的突破。分子泵的抽气机理与容积式机械泵不同，它依赖于泵腔的容积变化。分子泵通过在分子流区高速运动的刚体表面将动量传递给气体分子，使气体分子在刚体表面运动。在运动方向上产生定向流，从而达到抽气的目的。通常，在高速运动的刚体表面携带气体分子并使之沿一定方向运动的现象称为分子牵引现象。因此，盖德发明的分子泵被称为牵引分子泵。牵引分子泵的结构特点图20是Gaede牵引分子泵的结构示意图。泵腔内有一个可旋转的转子，转子周围有凹槽，并用挡板隔开。每个沟槽相当于一个单级分子泵，后一级的入口与前一级的出口相连。转子与泵壳之间有0.01mm的间隙。气体分子从入口进入泵腔，被转子带到出口侧，通过排气管被前级泵抽走。牵引分子泵的优点是启动时间短，分子流状态压缩比高，能够抽吸各种气体和蒸气，特别适合抽吸较重的气体。但它也有其自身的缺点：抽速小、密封间隙太小、工作可靠性差、易引起机械故障等，因此除特殊需要外很少采用。曾被结构和制造简单、抽速高的扩散泵所取代。即使在油扩散泵开始广泛应用的时代，人们仍然在改进牵引分子泵的结构方面做了大量的工作。例如Holweck、Siehbahn、Gondet等对Gaede型分子泵进行了许多改进，提出了许多不同结构的新型牵引分子泵。但由于其结构复杂、抽速较低，尚未得到广泛应用。分子泵是利用高速旋转的转子将动量传递给气体分子，使它们获得定向速度，然后被压缩并驱动至排气口，再被气体分子吸走的真空泵。前台。转子碰撞以获得动量并被驱动到泵的出口。机械真空泵的分类真空泵是利用各种方法在封闭空间内产生、提高和维持真空的装置。真空泵可以定义为利用机械、物理、化学或物理化学的方法对抽空容器进行抽真空以获得真空的装置或装置。随着真空应用的发展，真空泵的种类也很多，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、几百万升不等。极限压力（极限真空）范围从粗真空到10-12Pa以上超高真空。由于真空应用部门涉及的工作压力范围很广，任何类型的真空泵都不可能完全适合所有的工作压力范围。只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求来选用不同类型的真空泵。真空泵。为了使用的方便和各种真空工艺的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以单元式应用。凡是利用机械运动（旋转或滑动）获得真空的泵都称为机械真空泵。机械真空泵根据其工作原理和结构特点介绍如下： 1、变量真空泵它是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气，以达到抽气目的的真空泵。气体在离开泵室之前被压缩。有两种类型的泵：往复式和旋转式。 (1)往复式真空泵利用活塞在泵室内的往复运动来吸入、压缩和排出气体。也称为活塞真空泵。 (2)旋转真空泵利用转子部件在泵室内的旋转运动来吸入、压缩和排出气体。它大致有以下分类： 1）油封真空泵它是一种旋转变量真空泵，利用真空泵油密封泵内运动部件之间的间隙，减少泵内的有害空间。此类泵通常配有气镇。主要有旋片式真空泵、静片式真空泵、滑阀式真空泵、摆线式真空泵等。 2）液环式真空泵带有多个叶片的转子偏心安装在泵壳内。

旋转时，将工作液体抛向泵壳，形成与泵壳同心的液环，液环与转子叶片形成若干个容积周期性变化的小型旋转容积可变吸、排气室。工作液体通常为水或油，因此也称为水环真空泵或油环真空泵。 3）干式真空泵泵内无油（或液）封的变量真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此适用于半导体工业、化学工业、制药工业、食品工业等要求无油、洁净真空环境的工艺场合。 4）罗茨真空泵配有两个双叶或多叶转子，它们沿相反方向同步旋转。转子之间以及转子与泵壳内壁之间均保持一定的间隙。 2、动量传递泵它依靠高速旋转的叶片或高速射流将动量传递给气体或气体分子，使气体从泵入口连续地传递到出口。这类泵可分为以下几种形式： (1)分子真空泵，利用高速旋转的转子将动量传递给气体分子，使它们获得定向速度，然后被压缩和驱动以产生真空。排气口作为前级真空泵抽走。这类泵具体可分为： 1）牵引分子泵气体分子与高速转子碰撞获得动量，被驱动至泵的出口。 2）涡轮分子泵依靠高速旋转叶片和静止的固定叶片的配合来实现抽气。此类泵通常在分子流条件下工作。 3）复合分子泵是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联而成的复合分子真空泵。机械真空泵是真空应用领域最常用的泵类型，是真空获得设备的重要组成部分。其详细分类如图1所示。 (2)描述机械真空泵性能的参数机械真空泵的性能常用以下参数或几个主要参数来描述。 1、抽气速率（体积流量）（s；单位：m3s-1；Ls-1）当泵配备标准试验罩并在规定条件下工作时，流经试验罩的气体流量与试验中在烟罩上指定位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在一定压力和温度下，单位时间内真空泵从被抽容器中抽出气体的体积。 2、极限压力（极限真空）（单位：Pa） 泵配有标准试验罩，在规定条件下工作。在正常运行、不通气的情况下，趋于最低稳定压力。即真空泵进气口充分抽气后所能达到的最低稳定压力。 3、启动压力泵在不损坏的情况下启动并具有抽气功能的压力4前级压力排气压力低于一个大气压的真空泵的出口压力。 5. 最大前级压力超过前级压力可能会损坏泵。 6、最大工作压力最大抽气能力对应的入口压力。在此压力下，泵能连续工作而不会变质或损坏 7抽气能力（Q单位：Pam3S-1；PaLS-1） 流经泵入口的气体流量。 8. 压缩比对于给定气体，泵的出口压力与入口压力之比。其中，抽速和极限压力两个参数是实际应用中选择真空泵最重要的参数。 （3）机械真空泵规格及型号表示容积式（变容积）机械真空泵系列抽速划分（抽速单位为LS.1）如下： 0：5、1、2、4、8、1 :5、30、70、150、300、600、1200、2500、5000、10000、20000、40000。国内各种型号机械真空泵通常是用汉语拼音字母表示（如表1所示）。汉语拼音字母表示泵的型号；字母前的数字表示泵的级数，单级省略“1”；字母后横线后的数字表示泵的抽速（L/S）。

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