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gaas器件,GAA器件结构工艺和挑战

发布时间:2023-08-28 14:16:16编辑:温柔的背包来源:

很多朋友对gaas器件,GAA器件结构工艺和挑战不是很了解,每日小编刚好整理了这方面的知识,今天就来带大家一探究竟。

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编者按:“中国科学院大学集成电路学院是国家支持的第一批示范微电子学校。为了提高学生对先进光刻技术的理解,本学期集成电路研究所开设了《集成电路先进光刻技术与版图设计优化》的研讨课。在教学过程中,除了老师系统的讲课,学生还会对感兴趣的话题做深入的研究。师生共同讨论研究报告,实现教学互动。研究内容涉及光刻技术、光刻成像理论、SMO、OPC和DTCO技术。

考虑到这些内容也是目前业界比较关注的实用技术,在征得师生同意的情况下,本微信官方账号将陆续展示部分学生的研究成果。这些报道还是很初步的,甚至有一些谬误。请业内专家批评指正。以下是报告PPT:

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