tem和sem有什么区别，tem和sem的优缺点与区别

很多朋友对tem和sem有什么区别，tem和sem的优缺点与区别不是很了解，每日小编刚好整理了这方面的知识，今天就来带大家一探究竟。

SEM，全称扫描电子显微镜，又称扫描电子显微镜，英文名Scanning Electronic Microscopy。

SEM:扫描电子显微镜(Scanning electron microscope)是1965年发明的细胞生物学的现代研究工具，主要利用二次电子信号成像来观察样品的表面形貌，即用极窄的电子束扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中以样品的二次电子发射为主。二次电子可以产生样品表面的放大形态图像，该图像是在扫描样品时按时间顺序建立的，即通过逐点成像获得放大图像。

扫描电镜的优点：(1)可以直接观察样品的表面结构，样品的尺寸可以大到120 mm 80 mm 50 mm.(2)样品制备过程简单，不需要切片。(3)样品可以在样品室内进行三维平移和旋转，因此可以从各个角度观察样品。(4)景深大，图像立体感强。扫描电镜的景深比光学显微镜大几百倍，比透射电镜大几十倍。

(5)图像放大范围广，分辨率高。可以放大十倍到几十万倍，基本包括了从放大镜、光学显微镜到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜和透射电镜之间，可以达到3nm。(6)电子束对样品的损伤和污染较小。(7)在观察形貌的同时，我们还可以利用样品的其他信号进行微区成分分析。

SEM的缺点：对比度异常。由于充电效应，二次电子发射受到不规则影响，导致图像一部分异常明亮，另一部分异常黑暗。影像异常。由于静电场的作用，电子束发生不规则偏转，造成图像失真或相位差。图像漂移。由于静电场的存在，电子束的不规则偏离导致图像漂移。4亮点和亮线。带电样品中经常出现不规则放电，导致图像中出现不规则亮点和亮线。

TEM，全称透射电子显微镜，也叫透射电子显微镜。

TEM:透射电子显微镜，简称透射电镜，是将经过加速、集中的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子发生碰撞改变方向，从而产生固体角散射。散射角与样品的密度和厚度有关，因此可以形成明暗不同的图像。

一般透射电镜的分辨率为0.1 ~ 0.2 nm，放大倍数为数万至数百万倍。用于观察超微结构，即光学显微镜下看不清楚的小于0.2微米的结构，也称“亚微结构”。

TEM的优点：光学显微镜和透射电子显微镜都使用薄样品，而透射电子显微镜的优点是比光学显微镜更大程度地放大样品。放大10000倍或更多是可能的，这使科学家能够看到非常小的结构。对于生物学家来说，比如线粒体和细胞器，细胞的内部运作是清晰可见的。透射电子显微镜的晶体结构提供了极好的分辨率，甚至可以显示样品中原子的排列。

TEM的缺点：TEM需要在真空室中制备样品。由于这一要求，显微镜可以用来观察活体标本，如原生动物。一些精致的样品也可能被电子束损坏，必须先用化学染色或涂层进行保护。这种处理有时会破坏样品。

SEM和TEM的区别1、SEM样品收集二次电子和背散射电子，二次电子用于表面成像，背散射电子用于不同平均原子量之间的成像，即收集电子撞击样品和激发的二次电子和背散射电子的图像。TEM是一种透射电子显微镜，可以表征样品的厚度对比度和样品的内部晶格结构。投影电子显微镜的分辨率高于扫描电子显微镜。

2、SEM金相样品就够了，而TEM要求样品必须有很薄的区域，20~40m.可以制作SEM样品的普通金相样品，而TEM样品的观察部分必须减薄到100nm以下的厚度，一般做成直径3mm的片，然后进行离子减薄或双喷。SEM对样品的唯一要求是电导率。如果不导电，应喷涂碳或金。TEM可以直接观察不导电的样品。

以上两种方法都要求样品是非磁性的，如果是磁性的，会对结果产生一定的影响。

SEM原则上接受二次电子或背散射电子，TEM接受透射电子，主要观察形貌。TEM对于很薄的样品也可以观察形貌(小景深)，主要观察衍射电子图和点阵像(高分辨率)。总之，SEM只能观察形貌(当然背散射图像也能大致看出轻重元素的分布)，TEM可以确定结构。

使用条件：在以存储器件为代表的集成电路芯片的电镜分析中，扫描电镜因其方便性，往往是显微分析的首选。此外，不需要获取体内信号和结构信号，样品制备方便快捷。需要无损分析的样品表面结构保存完好，不变形，无污染，样品干燥，导电性好。用扫描电镜更合适。

对于分析要求较小、精度较高的场合，必须进行TEM分析，需要你得到样品内部结构的也需要选择TEM。在过去，TEM只是作为一种重要的科学研究仪器。但由于当今半导体制造采用了各种先进技术，仪器逐渐缩小，TEM得到了越来越多的应用。

在要求精度不是很高，制样方便，有良好的形貌，不需要得到体内信号，结构信号场合将扫描电镜和透射电镜有机的结合起来，相互补充，将能得到更加精确的分析结果。

以上知识分享希望能够帮助到大家！