激光干涉仪的测量方法，激光干涉仪|三坐标测量机垂直度快速检测方法

很多朋友对激光干涉仪的测量方法，激光干涉仪|三坐标测量机垂直度快速检测方法不是很了解，每日小编刚好整理了这方面的知识，今天就来带大家一探究竟。

三坐标测量机具有较高的测量精度和效率，广泛应用于精密加工检测领域。它与数控机床一起，是保证工件测量和加工精度的关键设备。作为高精度测量基准，快速、高精度的几何误差检测技术是提高三坐标测量机性能的关键。随着三坐标测量机运行速度的加快，动态误差对测量精度的影响往往大于静态/准静态误差。

特别是在高速测量过程中，自激振动和强迫振动都会产生动态误差。激光干涉仪是检测机床和坐标测量机几何误差的常用手段。

垂直度测量是通过比较正交轴的直线度值来确定正交轴的非直角。三坐标测量机的垂直度误差可能是由导轨磨损、意外事故导致导轨损坏、机床基础不良、正交轴上两个原点传感器未对准等因素造成的，垂直度误差会直接影响机床的定位精度和插补能力。SJ6000激光干涉仪以光波为载体，配合动态测量软件，实现三坐标测量机的垂直度检测与分析。垂直度测量施工

SJ6000激光干涉仪的垂直度测量是直线度测量在二维空间的延伸。垂直度测量由两组正交轴的直线度测量组成，其中直线度镜作为公共参考，保持原样，测量时不做调整；光学角尺用于至少在一次直线度测量中调整激光束和轴线的准直。垂直误差=光学平方误差-倾角1-倾角。SJ6000激光干涉仪垂直度测量光路原理框图

黄浩宇，三坐标测量机XY轴垂直度测量编审

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