石英挠性加速度计，石英挠性加速度计的组成

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应时的柔性加速度计由于采用了柔性支撑技术，被称为应时的柔性加速度计，其结构和工艺大大简化。这种应时挠性加速度计已广泛应用于各种现代惯性系统中。

工作原理和结构由温度系数低、导磁能好的软磁数据组成。磁钢由导磁率产生良好能量的永磁材料制成，用无心磨床加工而成。柔性片的数据为温度性能优异的应时玻璃，形状采用超声波加工制作，柔性组件的加工一般采用化学刻蚀的方法；整个柔性板也可以通过反应离子刻蚀来加工，但是成本非常高。

加速度引起的差分电容c的变化由伺服电路中的差分电容检测器检测，其输出为电流，由电流积分器转换为输出电压，再由跨导补偿放大器将电压转换为输出电流，输出电流与输入加速度成正比。极性取决于输入加速度的方向。

应时的灵活导航和制导系统使用大型武器，如导弹、飞机、船只、坦克和军用车辆，需要有速度和方位信息。在低需求场合，人们使用空速表、马赫数传感器和里程表，但随着武器系统功能需求的发展，上述产品已不能满足要求。线性加速度计可以安装在运动物体中，直接测量其加速度，进而得到速度和方位。测量精度高，动态功能好，比空速表、里程表好很多。

因此，线加速度计是惯性导航和制导系统中最重要的应用之一。lw

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