真空漏气率怎么衡量？ 氦气检漏漏率标准

网上有很多关于真空漏气率怎么衡量？的问题，也有很多人解答有关氦气检漏漏率标准的知识，今天每日小编为大家整理了关于这方面的知识，让我们一起来看下吧!

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一、真空漏气率怎么衡量？

二、卤素检漏和氦气检漏那个灵敏度要高

一、真空漏气率怎么衡量？

采用系统最大允许泄漏率/20，因为泄漏率为——Q泄漏=V(P2-P1)/t，其中Q泄漏：系统泄漏率(Pal/s) V：系统容积(l ) P1: 真空泵停止时系统内的压力(Pa) P2: 时间t后真空室达到的压力(Pa) t: 压力从P1上升到P2所经过的时间(s) 如果这20个状态各室一致，即漏气率相同，则无论是连在一起还是分开，同一时间停止抽气后达到的压力是相同的。因此，在不考虑压力和时间的影响的情况下，泄漏率与腔室容量成正比。测量整个真空系统的泄漏率后，可以与容积比分开计算单个系统的泄漏率，表示为： Q泄漏量=V1(P2-P1)/t+V2(P2-P1) /t +V3(P2-P1)/t+.+V20(P2-P1)/t=Q1 漏极+Q2 漏极+Q3 漏极+.+Q20 漏极

二、卤素检漏和氦气检漏那个灵敏度要高

氦质谱检漏仪的最小可检测泄漏率为：真空模式：5X10-12 mbar l/s（5X10-13 pa m3/s）；吸枪模式：5X10-8 mbar l/s (5X10-9 pa m3/s)

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